蔡司公司最新推出的Sigma 500場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡采用成熟的GEMINI光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)，分辨率超過0.8nm，為您提供最高分辨率和最佳分析性能科研平臺(tái)。Sigma500專注于一流的EDS幾何學(xué)設(shè)計(jì)使您可以獲取精湛的分析性能。借助Sigma直觀便捷的四步工作流程可以快速成像、簡(jiǎn)化分析程序、提高工作效率。您會(huì)比以往更快、更多的獲取數(shù)據(jù)。多種探測(cè)器的選擇使Sigma500可以精準(zhǔn)的匹配您的應(yīng)用程序：您可以獲取微小粒子、表面、納米結(jié)構(gòu)、薄膜、涂層和多層的圖像信息。

Sigma 500技術(shù)參數(shù)

分辨率： 0.8nm @15 kV 1.6 nm @1kV

放大倍數(shù)：10-1,000,000×

加速電壓：調(diào)整范圍：0.02-30 kV（無需減速模式實(shí)現(xiàn)）

探針電流： 4pA-20nA （40nA&100nA可選）

低真空范圍：2-133Pa（Sigma 500VP可用）

樣品室： 358 mm（φ），270.5 mm（h）

樣品臺(tái)：5軸優(yōu)中心全自動(dòng)

X=125 mm（可選130mm）

Y=125 mm（可選130mm）

Z=50 mm

T=-10o-90o

R=360o 連續(xù)

系統(tǒng)控制：基于Windows 7的SmartSEM操作系統(tǒng)，可選鼠標(biāo)、鍵盤、控制面板控制

Sigma 500產(chǎn)品應(yīng)用

sigma300_副本

掃描電鏡廣泛用于材料科學(xué)（金屬材料、非金屬材料、納米材料）、冶金、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體材料與器件、地質(zhì)勘探、病蟲害的防治、災(zāi)害（火災(zāi)、失效分析）鑒定、刑事偵察、寶石鑒定、工業(yè)生產(chǎn)中的產(chǎn)品質(zhì)量鑒定及生產(chǎn)工藝控制等。在材料科學(xué)、金屬材料、陶瓷材料半導(dǎo)體材料、化學(xué)材料等領(lǐng)域，進(jìn)行材料的微觀形貌、組織、成分分析。各種材料的形貌組織觀察，材料斷口分析和失效分析，材料實(shí)時(shí)微區(qū)成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面掃描和線掃描分布測(cè)量，晶體/晶粒的相鑒定，晶粒尺寸、形狀分析，晶體、晶粒取向測(cè)量。

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